プローブカード
お客さまのニーズにお応えする豊富なラインナップ
高密度化・高速化・効率化と、進化し続ける半導体集積回路のテスティングにおいて、計測信頼性の鍵を握るのがプローブカードです。お客さまのニーズ、テスト環境に合せた各種プローブカードを、常に最高レベルの品質でご提供します。
プローブカード ラインナップ
プローブカード絞り込み検索
- パッドピッチ
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- 〜50㎛
- 55㎛
- 60㎛
- 80㎛
- 100㎛
- 130㎛
- 150㎛〜
- パッド形状
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- Al-Pad
- Solder bump
- Cu-pillar bump
- パッド配列
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- ペリフェラル
- エリアアレイ
- LOC(Dual含む)
- デバイス
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- Logic
- Optical
- DRAM
- Flash
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カンチレバープローブカードは、2023年9月30日をもって日本国内での生産を終了いたしました。
詳しくはこちらをご覧ください。
なお、中国現地法人 MJC Microelectronics(Kunshan)Co., Ltd.においては、今後も中国国内の製造を継続いたします。
プローブカードとは
プローブカードとは、LSI(半導体集積回路)製造のウェーハ検査工程において、シリコンウェーハ上に形成されたLSIチップの電気的検査に用いられる器具です。プローブカードは、ウェーハプローバに取り付けられ、LSIチップの電極と、測定機であるLSIテスタとを接続するコネクタのような役割を持ちます。LSIチップの電極にプローブカードの針を接触させ、電気的検査をおこない、良否判定をします。
ウェーハ検査工程の重要性は高く、プローブカードの信頼性が強く求められています。
【プローブカード】
【ウェーハ検査装置】
アドバンストプローブカードとは
アドバンストプローブカードとはカンチレバープローブカードに比べ、高スループット、狭ピッチ、高位置精度、高周波に優れた先端技術を駆使したプローブカードです。