U-Probe
製品特長
U-Probe
独自のMEMS技術を応用したMEMSプローブ「マイクロカンチレバー」と、「薄膜多層配線基板」の製造技術を用いたプローブカード
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01DRAM、Flash Memoryデバイス向け多数個同時測定用プローブカード
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02当社独自のMEMSプローブ「マイクロカンチレバー」と「薄膜多層配線基板」の 製造技術を用いたプローブカード
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0312インチウェーハの一括測定にも対応
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041枚のカードで、約2,500DUT、プローブ搭載数約200,000ピンに対応
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05テスタのリソースを最大限に活用した効率的なDUT配列が可能
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06最良の接触性で歩留まりを改善
PCB lessタイプ
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01MEMSプローブ搭載の薄膜多層基板と テスタをダイレクトにドッキング させる構造で軽量化、低価格を実現