U-Probe
製品特長

U-Probe
独自のMEMS技術を応用したMEMSプローブ「マイクロカンチレバー」と、「薄膜多層配線基板」の製造技術を用いたプローブカード
-
01DRAM、Flash Memoryデバイス向け多数個同時測定用プローブカード
-
02当社独自のMEMSプローブ「マイクロカンチレバー」と「薄膜多層配線基板」の 製造技術を用いたプローブカード
-
0312インチウェーハの一括測定にも対応
-
041枚のカードで、約2,500DUT、プローブ搭載数約200,000ピンに対応
-
05テスタのリソースを最大限に活用した効率的なDUT配列が可能
-
06最良の接触性で歩留まりを改善

PCB lessタイプ
-
01MEMSプローブ搭載の薄膜多層基板と テスタをダイレクトにドッキング させる構造で軽量化、低価格を実現