お問い合わせ

Excelyze マニュアルプローバ(12インチ)

製品特長

Excelyze/エクセライズ

12インチ マニュアルプローバ

「Excellent+Analyze」 をコンセプトに、高い操作性と精密な解析を実現するエンジニアリング向けプローバ
ユーザーの使いやすさを追求し、開発・解析時間を最大化

微小電流測定

  • 01fAオーダの微小電流測定に対応可能なシールド構造

高低温測定

  • 01検査ステージ部は−60℃~+300℃までの高低温測定に対応したチャンバー構造

安全性

  • 01ファーストコンタクト検知機能により、デバイスやプローブの破損を防止

    ※オプション使用時(電動マニピュレータ)

安定したコンタクト

  • 01自動コンタクト補正機能により、高低温条件を切り替えてもコンタクト位置合わせをすることなく安定した測定が可能

    ※オプション使用時(電動マニピュレータ)

主要な測定器メーカーのシステムおよびソフトウェアに標準対応

  • 01キーサイト・テクノロジー

    B1500A半導体デバイス・パラメータ・アナライザ
    EasyEXPERT

  • 02ケースレーインスツルメンツ

    ACS(測定ソフト)搭載システムおよび測定器

  • 03その他の測定器制御、ソフトウェアのカスタム対応可能

多彩なオプション・カスタマイズ対応

  • サーマルチャック(−60℃~+300℃)を用いた温度依存特性評価に対応
  • 高低温度環境を保持したままウェーハ交換が可能なウェーハエクスチェンジボックス
  • デバイスとプローブを守り、高精度なコンタクトを実現する電動マニピュレータ
  • アダプタの使用により、プローブカードを搭載可能
  • RFプローブ、RFプローブ補正基板を搭載可能
  • 使用目的に合わせてカスタマイズ可能

仕様:Excelyze マニュアルプローバ(12インチ)

最大ウェーハサイズ φ300mm
XYステージ可動最小分解能 0.2μm
XYステージ繰り返し位置決め精度 1μm
Z軸ステージ可動最小分解能 0.2μm
Z軸繰り返し位置決め精度 1μm
θ軸ストローク ±5°
θ軸可動最小分解能 0.00008°
制御インターフェース GP-IB ※他ご相談を承ります
外形寸法(WxDxH) 1,000mm × 1,200mm × 1,874mm(オプション含まず)
装置重量 約800kg(オプション含まず)

ウェーハプローバへ戻る

お問い合わせ

製品・サポートに関するお問い合わせはこちらからお願いします