Excelyze マニュアルプローバ（12インチ）
製品特長
Excelyze
12インチ マニュアルプローバ
Excellent＋Analyze”の意味で、高い操作性で高精度の解析ができるクォリティの高いエンジニアリング用プローバ
使いやすさを追求し、ユーザーが開発・解析時間を最大化できるプローバ
微小電流測定
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01fAオーダの微少電流測定に対応可能なシールド構造
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02検査ステージ部はー40℃～+300℃までの高低温測定に対応したチャンバー構造
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03ファーストコンタクト検知機能により、デバイスやプローブの破損を防止
※オプション使用時(電動マニピュレータ)
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04自動コンタクト補正機能により、高低温条件を切り替えてもコンタクト位置合わせをすることなく安定した測定が可能
※オプション使用時(電動マニピュレータ)
多彩なオプション・カスタマイズ対応
- サーマルチャック（‐60℃～+300℃）を用いた温度依存特性評価に対応
- 高低温度環境を保持したままウエハ交換が可能なウエハロードボックス
- アダプタの使用により、プローブカードを搭載可能
- RFプローブ、RFプロオーブ補正基板の搭載可能
- 使用目的に合わせてカスタマイズ可能
仕様：Excelyze 12インチマニュアルプローバ
| 最大ウェーハサイズ | φ300mm |
|---|---|
| XYステージ可動最小分解能 | 1μm |
| XYステージ繰り返し位置決め精度 | ±2μm |
| Z軸ステージ可動最小分解能 | 1μm |
| Z軸繰り返し位置決め精度 | ±2μm |
| θ軸ストローク | ±5° |
| θ軸可動最小分解能 | 0.00008° |
| 制御インターフェース | GP-IB ※他ご相談を承ります |
| 外形寸法（WxDxH） | 1,000mm(W) × 1,200mm (D)× 1,874mm (H) |
| 装置重量 | Approx. 800kg |
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