マニュアルプローバ(12インチ)
製品特長
Model 705A-WG7
12インチ マニュアルプローバ
12インチまでのウェーハの解析測定用マニュアルプローバ
簡易操作
-
01エアベアリングステージ採用により、片手で簡単操作
短時間でステージの位置合わせが可能で、測定効率が向上します。
広範囲なコンタクトエリア
-
01スライドテーブルの採用により、広範囲なプロービングエリアを確保
被測定デバイスをずらす必要がなく、評価作業の効率がアップします。
安全設計
-
01セーフティロック機構で、コンタクト時の操作ミスによるデバイスとプローブの損傷を防止
デバイスの作り直し、測定のやり直し、プローブメンテナンスなどの無駄を低減します。
カスタマイズ可能
- 各種顕微鏡、レーザーカッターシステムの搭載など、使用目的に合わせたカスタマイズが可能
仕様:マニュアルプローバ Model 705A-WG7(12インチ)
最大ウェーハサイズ | φ300mm |
---|---|
ステージ移動範囲(粗動) | X:500mm Y:400mm |
ステージ移動範囲(微動) | X:25mm Y:25mm |
Ζ軸 ステージストローク | 0 / 0.3 / 3.5mm+37.5mm |
Θ軸 ステージ回転角度 | 粗動 ±45° 微動 ±5° |
外形寸法(WxDxH) | 978mm×1,038mm×748mm(オプション含まず) |
装置重量 | 130kg(オプション含まず) |
ウェーハプローバ製品一覧
-
セミオートプローバ
(8インチ微小電流測定用) -
マニュアルプローバ
(8インチ微小電流測定用) -
マニュアルプローバ
(6インチ/8インチ) -
マニュアルプローバ
(12インチ) -
パーソナルマニュアルプローバ
(2インチ/4インチ)