Excelyze Manual Prober
(for 12-inch wafer)
Features
Excelyze
Manual Prober for 12-inch wafer
Excellent＋Analyze”の意味で、高い操作性で高精度の解析ができるクォリティの高いエンジニアリング用プローバ
使いやすさを追求し、ユーザーが開発・解析時間を最大化できるプローバ
Low current measurement
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01fAオーダの微少電流測定に対応可能なシールド構造
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02検査ステージ部はー40℃～+300℃までの高低温測定に対応したチャンバー構造
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03ファーストコンタクト検知機能により、デバイスやプローブの破損を防止
※オプション使用時(電動マニピュレータ)
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04自動コンタクト補正機能により、高低温条件を切り替えてもコンタクト位置合わせをすることなく安定した測定が可能
※オプション使用時(電動マニピュレータ)
A wide variety of options and customization
- サーマルチャック（‐60℃～+300℃）を用いた温度依存特性評価に対応
- 高低温度環境を保持したままウエハ交換が可能なウエハロードボックス
- アダプタの使用により、プローブカードを搭載可能
- RFプローブ、RFプロオーブ補正基板の搭載可能
- 使用目的に合わせてカスタマイズ可能
Specifications: Excelyze 12インチマニュアルプローバ
| Maximum wafer size | φ300mm |
|---|---|
| XYステージ可動最小分解能 | 1μm |
| XYステージ繰り返し位置決め精度 | ±2μm |
| Z軸ステージ可動最小分解能 | 1μm |
| Z軸繰り返し位置決め精度 | ±2μm |
| θ軸ストローク | ±5° |
| θ軸可動最小分解能 | 0.00008° |
| Control interface | GP-IB ※他ご相談を承ります |
| External dimensions（WxDxH） | 1,000mm(W) × 1,200mm (D)× 1,874mm (H) |
| System weight | Approx. 800kg |
List of Wafer Prober Products
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Semi-Automatic Prober
(for 8-inch wafer Low Current Measurement) -
Manual Prober
(for 8-inch wafer Low Current Measurement) -
Manual Prober
(for 6-inch wafer/8-inch wafer) -
Manual Prober
(for 12-inch wafer) -
Personal Manual Prober
(for 2-inch wafer/4-inch wafer) -
Excelyze Manual Prober
(for 12-inch wafer)
