Excelyze Manual Prober
(for 12-inch wafer)
Features
Excelyze
Manual Prober for 12-inch wafer
Excelyza means Excellent and Analyzing. Excelyze is high-quality engineering prober that offers excellent operability and enables high-precision analysis.
Excelyze is designed for focusing on ease of use and allowing users to maximize their development and analysis time.
Low current measurement
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01fAオーダの微少電流測定に対応可能なシールド構造
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02検査ステージ部はー40℃～+300℃までの高低温測定に対応したチャンバー構造
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03ファーストコンタクト検知機能により、デバイスやプローブの破損を防止
※オプション使用時(電動マニピュレータ)
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04自動コンタクト補正機能により、高低温条件を切り替えてもコンタクト位置合わせをすることなく安定した測定が可能
※オプション使用時(電動マニピュレータ)
A wide variety of options and customization
- サーマルチャック（‐60℃～+300℃）を用いた温度依存特性評価に対応
- 高低温度環境を保持したままウエハ交換が可能なウエハロードボックス
- アダプタの使用により、プローブカードを搭載可能
- RFプローブ、RFプロオーブ補正基板の搭載可能
- 使用目的に合わせてカスタマイズ可能
Specifications: Excelyze Manual Prober (for 12-inch wafer)
| Maximum wafer size | φ300mm |
|---|---|
| XY travel resolution | 1μm |
| XY Repeat accuracy in the positioning stage |
±2μm |
| Z travel resolution | 1μm |
| Z Repeat accuracy in the positioning stage |
±2μm |
| θ stroke | ±5° |
| θ travel resolution | 0.00008° |
| Control interface | GP-IB |
| External dimensions (WxDxH) |
1,000mm(W) × 1,200mm (D)× 1,874mm (H) |
| System weight | Approx. 800kg |
List of Wafer Prober Products
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Semi-Automatic Prober
(for 8-inch wafer Low Current Measurement) -
Manual Prober
(for 8-inch wafer Low Current Measurement) -
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(for 6-inch wafer/8-inch wafer) -
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(for 12-inch wafer) -
Personal Manual Prober
(for 2-inch wafer/4-inch wafer) -
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